許多了解無塵室的人都贊同,第一次擁有無塵室的擁有者,應使用較好之C/R建筑或工程設計公司或了解建筑C/R設計之建筑承包商若假設他們不了解,則必會浪費一大筆不必要花的錢,故選擇一建造C/R的公司也是非常重要的�
?。╨)耐久性;�2)成�;(3)適應性;�4)可維護�;(5)清洗�
�1)耐久性:
無塵室要有符合環(huán)�、無塵室內部的清洗溶液及振動、設�、空氣過濾系�(tǒng)的耐久材料。而耐久性,同時也依賴無塵室等級來建�。半導體Fabs傾向選擇鋁,基于它的耐久�,然而,它不是便宜的物質�
�2)清洗:
在制藥和生物工學工業(yè),無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止濾過性病毒或細菌的污染之特�。在biotech市場,清洗真正地是一個最重要的企�(yè)�
?�?)成本:
微電子C/R建設費可能花費到$10�。fab能更快的被建造起來,產品也就能更快達到這市�。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素�
�4)適應性:
一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆金錢,而適應性意指系�(tǒng)可任意移動或改變而不會招致極大的損失。C/R的擁有者和設計者的能力為改變一C/R的關�,所以他們從不將最初的設計定型�
�5)維護性:
對無塵室C/R而言,較嚴格要求的部分為地板、天花板,以及墻壁的部分。至于維修的問題,對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優(yōu)先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花�,其包含HEPA及ULPA等濾�(wǎng),其可過濾掉房間的微粒子,且其常會因各個不同的需�,便其分開來,供應各個不同區(qū)域的小房間,曾有人說:若建造之預算因某種原因被限制,除了少�(shù)的小錢外,其天花板將趨于更貴的地步,其實天花板是一個頗復雜的系�(tǒng)其必須嚴格地過濾粒子,故其設計必須精��
對C/R而言,其選擇地板的材料也是很重要�。低廉的C/R地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上,若太硬的地板覆蓋會引起塵埃,而太軟的地板會造成地板彎曲甚致破裂,但并不是所有C/R的地�,都會覆蓋,乙烯�。有些地板是沖孔式、格子式,而全面層流都是沖孔式�
乙烯基有一作用即脫�,但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果,而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴,但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化,可是卻易受酸性氣體的侵蝕,而避免的方法是使用電鍍,便鋁表面增厚,不易氧化,再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化�
對于半導體工�(yè)而言,無塵室是一必要且不可缺之設�,其對空氣中的粒子要求非常之嚴格,故對天花板、墻�、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸,而清除地板所用者大部分為消毒藥品及化學藥品,當我們看見地板磨損時,也就是使用期已太久,快破裂了,不僅會使得清靜度的降�,也會因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加�
另外,C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網(wǎng)有很多種。例如層流式C/R而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA濾網(wǎng)�
�光組亦有可能包含空白的嵌板,這類型的天花板優(yōu)點為,放置方式并沒有嚴格的限��
C/R之墻壁還有一種是以薄鋼制�,但必須在表層涂上一層保護層,否則亦會腐�,它并不容易電鍍,而在表層涂上的保護層會變得易�,很容易剝落,但若選擇高質量的不銹鋼,就不必涂上保護�7,而使用玻璃作的C/R會使得房間的光線大增,以及美觀,但必須涂上一抗紫外線的障礙物,且可以視覺互�,較不會產生幽閉恐懼��