凈化車間主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度,使�(chǎn)品能在一個良好之�(huán)境空間中生產(chǎn)、制�,此空間我們稱之為凈化車間�
按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)�(zhǔn)的粒子數(shù)量來�(guī)定。也就是說所謂無塵并�100%沒有一點灰�,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)�(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)�(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其�,但是對于光�(xué)�(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影�,所以在光學(xué)�(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)�,凈化車間無塵是必然的要求�
每立方米將小�0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以�,就達到了國際無塵標(biāo)�(zhǔn)的A�。目前應(yīng)用在芯片級生�(chǎn)加工的無塵標(biāo)�(zhǔn)對于灰塵的要求高于A�,這樣的高�(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生�(chǎn)上�5μm及以下的微塵�(shù)量被�(yán)格控制在每立方米1000個以�(nèi),這也就是�(yè)�(nèi)俗稱�1K級別�